丰泽源_钛管靶类产品

钛管靶类产品

靶材性能与要求：
靶材直接影响着薄膜的物理、外观、力学等性能，因而对靶材的质量评判较为严格，主要应满足如下要求：1.杂质及氧含量低、纯度高。2.致密度高。3.成分与组织结构均匀。4.晶粒尺寸细小。
钛管靶执行标准：GB/T3620.1-2007 GB/T3625-2007
钛管靶牌号：TA1、TA2、TC4
钛管靶规格：管靶： φ100 xφ80 x L、φ145 xφ125x L、φ150xφ125x L、φ155xφ125x L 背管： φ133xφ125x L

GB/T3620.1-2007

合金牌号	名义化学成分	化学成分（质量分数）/％
		主要成分								杂质，不大于
		Ti	Al	Sn	Mo	Pd	Ni	Si	B	Fe	C	N	H	O	其他元素
															单一	总和
TA1	工业纯钛	余量	—	—	—	—	—	—	—	0.20	0.08	0.03	0.015	0.18	0.10	0.40
TA2	工业纯钛	余量	—	—	—	—	—	—	—	0.30	0.08	0.03	0.015	0.25	0.10	0.40
TA3	工业纯钛	余量	—	—	—	—	—	—	—	0.30	0.08	0.05	0.015	0.35	0.10	0.40
TA4	工业纯钛	余量	—	—	—	—	—	—	—	0.50	0.08	0.05	0.015	0.40	0.10	0.40
TA9	Ti-0.2Pd	余量	—	—	—	0.12-0.25	—	—	—	0.30	0.08	0.03	0.015	0.25	0.10	0.40
TA10	Ti-0.3Mo- 0.8Ni	余量	—	—	0.2-0.4	—	0.6-0.9	—	—	0.30	0.08	0.03	0.015	0.25	0.10	0.40

合金牌号		名义化学成分	化学成分（质量分数）/％
			主要成分									杂质，不大于
			Ti	Al	Sn	Mo	V	Zr		Si	Nd	Fe	C	N	H	O	其他元素
																	单一	总和
TA13		Ti-2.5Cu	余量	Cu：2.0-3.0		—	—	—		—	—	0.20	0.08	0.05	0.010	0.20	0.10	0.30
TA15		Ti-6.5Al-1Mo-1V-2Zr	余量	5.5-7.1	—	0.5-2.0	0.8-2.5	1.5- 2.5		≦0.15	—	0.25	0.08	0.05	0.015	0.15	0.10	0.30
TA17	Ti-4Al-2V		余量	3.5-4.5	—	—	1.5-3.0	—	≦0.15		—	0.25	0.08	0.05	0.015	0.15	0.10	0.30
TA18	Ti-3Al-2.5V		余量	2.0-3.5	—	—	1.5-3.0	—	—		—	0.25	0.08	0.05	0.015	0.12	0.10	0.30

合金牌号	名义化学成分	化学成分/％
		主要成分										杂质，不大于
		Ti	Al	Sn	Mo	V	Cr	Fe	Mn	Cu	Si	Fe	C	N	H	O	其他元素
																	单一	总和
TC4	Ti-6Al-4V	余量	5.5- 6.75	—	—	3.5-4.5	—	—	—	—	—	0.30	0.80	0.05	0.015	0.20	0.10	0.40
TC10	Ti-6Al-6V-2Sn-0.5Cu-0.5Fe	余量	5.5- 6.5	1.5-2.5	—	5.5-6.5	—	0.35- 1.0	—	0.35-1.0	—	—	0.08	0.04	0.015	0.20	0.10	0.40

合金牌号

名义
化学成分

化学成分（质量分数）/％

主要成分

杂质，不大于

其他元素

单一

总和

TC11

Ti-6.5Al-3.5Mo-1.5Zr-0.3Si

余量

5.8-7.0

—

2.8-3.8

—

0.8-2.0

—

0.2-0.35

0.25

0.08

0.05

0.012

0.15

0.10

0.40

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